無(wú)塵室潔凈度定期檢測(cè)及測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)
1、為了保證無(wú)塵室的潔凈度滿(mǎn)足工藝要求，必須定期對(duì)無(wú)塵室內(nèi)的潔凈度進(jìn)行檢測(cè)。
2、檢測(cè)測(cè)試設(shè)備：激光粒子記數(shù)器。
3、檢測(cè)周期：每周一上午、下午對(duì)各潔凈區(qū)域進(jìn)行一次檢測(cè)。
4、檢測(cè)條件：靜態(tài)潔凈度測(cè)試。
5、數(shù)據(jù)收集整理：將每次檢測(cè)的結(jié)果輸入監(jiān)控室的電腦中儲(chǔ)存，并在每個(gè)季度末（或下季度初）給各部門(mén)發(fā)該季度的潔凈度記錄圖表電子檔通報(bào)給各部門(mén)。
6、各潔凈區(qū)域潔凈級(jí)別標(biāo)準(zhǔn)：按照《半導(dǎo)體公司能源管理標(biāo)準(zhǔn)》要求執(zhí)行。
潔凈等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)相當(dāng)于ISO級(jí)別等效于GB級(jí)別
K-1系統(tǒng)劃片區(qū)域
K-1系統(tǒng)改造前為靜態(tài)10萬(wàn)級(jí) CLASS 7
CLASS 8 CLASS 7
CLASS 8
K-2系統(tǒng)包封區(qū)域靜態(tài)30萬(wàn)級(jí) CLASS 8．3 CLASS 8．3
K-3系統(tǒng)搪錫區(qū)域靜態(tài)30萬(wàn)級(jí) CLASS 8．3 CLASS 8．3
K-4系統(tǒng)測(cè)試區(qū)域靜態(tài)30萬(wàn)級(jí) CLASS 8．3 CLASS 8．3
K-8系統(tǒng)電鍍區(qū)域靜態(tài)30萬(wàn)級(jí) CLASS 8．3 CLASS 8．3