風(fēng)機(jī)過濾單元廣泛應(yīng)用于潔凈室、潔凈工作臺(tái)、潔凈生產(chǎn)線、組裝式潔凈室等場(chǎng)所，還適用于半導(dǎo)體、電子、平板顯示器的生產(chǎn)線等其它對(duì)空氣中污染有嚴(yán)格控制要求的地方。
一、組成部分
FFU通常由離心式風(fēng)機(jī)、過濾器（高效過濾器HEPA或超高效過濾器ULPA）、殼體、控制器等組成。
（1）外殼體
外殼體的主要材質(zhì)有冷板烤漆、不銹鋼、覆鋁鋅板等。不同的使用環(huán)境有不同的選擇。它的形狀分兩種，一種上部為坡形，坡形主要起到導(dǎo)流的作用，有利于進(jìn)氣氣流的流動(dòng)和均勻分布；一種是長(zhǎng)方體，美觀且可以使進(jìn)入殼體內(nèi)空氣以最大面積接觸過濾器表面。
（2）粗效過濾器
粗效過濾器主要是為了防止因施工、檢修或其他情況產(chǎn)生的雜物對(duì)高效過濾器造成傷害，其材質(zhì)一般是可清洗的聚氨酯纖維。
（3）葉輪
葉輪有前傾和后傾兩種形式，前傾有利于增加氣流組織的矢向流動(dòng)，增強(qiáng)去除塵埃的能力；后傾有利于降低能耗，減小噪聲。
（4）高效過濾器
高效過濾器主要用于捕集0.1~0.5 μm的顆?；覊m及各種懸浮物。
（5）電子元件
FFU的控制大致可分為多檔控制、無極控制、連續(xù)調(diào)節(jié)、計(jì)算機(jī)控制等。同時(shí)實(shí)現(xiàn)單臺(tái)控制、多臺(tái)控制、分區(qū)控制、故障報(bào)警、歷史記錄等功能。

1:粗效過濾器
2:風(fēng)機(jī)葉輪
3:電機(jī)
4:擋板
5:高效過濾器
6:電子元件
二、工作原理
在工作時(shí)，風(fēng)機(jī)從FFU頂部將空氣吸入并經(jīng)粗效過濾器、高效過濾器過濾，采用獨(dú)TE的通風(fēng)管道，過濾后的潔凈空氣在整個(gè)出風(fēng)面以0.45 m/s±20%的風(fēng)速均勻送出。
三、主要設(shè)計(jì)參數(shù)
FFU的主要設(shè)計(jì)參數(shù)有：面風(fēng)速、功耗、風(fēng)速均勻度、機(jī)外靜壓、總靜壓、噪聲、振動(dòng)速率等，具體參數(shù)可參考《FFU綜合應(yīng)用手冊(cè)》。
（1）面風(fēng)速：面風(fēng)速一般介于0~0.6 m/s之間，如是五檔調(diào)速則是各檔對(duì)應(yīng)的風(fēng)速大致是0.3-0.35-0.4-0.45-0.5 m/s，無極調(diào)速則大致是0~0.6 m/s。
（2）功耗：交流系統(tǒng)一般在100~300 W；直流系統(tǒng)在50~220 W，直流系統(tǒng)與交流系統(tǒng)相比，功耗降低30~50%。
（3）風(fēng)速均勻度：指FFU面風(fēng)速的均勻度，高級(jí)別的潔凈室極易引起擾流，對(duì)其要求極為嚴(yán)格。優(yōu)異的風(fēng)機(jī)、過濾器及散流板設(shè)計(jì)、工藝水平?jīng)Q定該項(xiàng)參數(shù)的優(yōu)劣，測(cè)試該項(xiàng)參數(shù)時(shí)，根據(jù)FFU出風(fēng)面的大小，均勻選取6~12個(gè)點(diǎn)測(cè)試面風(fēng)速，其最大、最小值相比平均值不得超過±20%。
（4）機(jī)外靜壓：也稱余壓，該參數(shù)關(guān)系FFU的使用壽命，其與風(fēng)機(jī)密切相關(guān)，一般要求在面風(fēng)速0.45 m/s時(shí)，機(jī)外靜壓不小于90Pa。
（5）總靜壓：也稱總壓，即FFU在最大功率，風(fēng)速為零時(shí)，其能提供的靜壓值，一般交流FFU的總靜壓大約為300 Pa，直流FFU的總靜壓為500~800 Pa。在一定風(fēng)速下，一般可以這樣計(jì)算：總靜壓（TSP）=機(jī)外靜壓（ESP，F(xiàn)FU提供的克服外界管道、回風(fēng)道阻力的靜壓）+過濾器壓損（該風(fēng)速下的過濾器阻力值）。（6）噪聲：一般噪聲介于42~56 分貝（dBA）之間，使用時(shí)比較關(guān)注面風(fēng)速0.45 m/s，機(jī)外靜壓在100 Pa時(shí)的噪聲，同等規(guī)格尺寸的FFU，直流的比交流的要小1~2 dBA。
（7）振動(dòng)速度：一般小于1.0 mm/s。
四、分類及特點(diǎn)
FFU 按照機(jī)箱材質(zhì)不同分為G\S\A\O 四種型號(hào)，標(biāo)準(zhǔn)型涂層鋼板（包括鍍鋅、鍍鋁鋅、噴塑等），代號(hào)G；不銹鋼板，代號(hào)S；鋁板（鋁合金板），代號(hào)A；其他材質(zhì)，代號(hào)O。
FFU按照電機(jī)方式分類，可分為交流電機(jī)和無刷直流電機(jī)。交流單相電機(jī)代號(hào)為A1；交流三相電機(jī)代號(hào)為A3；直流無刷電機(jī)代號(hào)為EC。
FFU交流供電機(jī)組按照機(jī)組控制方式不同分為單工況機(jī)組，用S表示；多工況控制機(jī)組，用M表示。
按照機(jī)組靜壓不同分為標(biāo)準(zhǔn)靜壓型和高靜壓型。標(biāo)準(zhǔn)靜壓型代號(hào)為S；高靜壓型代號(hào)為H。
按照機(jī)組所帶高效過濾器效率不同可分為高效過濾器，代號(hào)為H；超高效過濾器，代號(hào)為U；機(jī)組入口如帶有粗效預(yù)過濾器代號(hào)為P。
FFU具有靈活性、占用空間小、經(jīng)濟(jì)、出風(fēng)均勻穩(wěn)定、負(fù)壓密封、單元多、占用架空空間噪音大等特點(diǎn)。
靈活性。FFU結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，具有很好的適應(yīng)性，由于其特殊的節(jié)點(diǎn)構(gòu)造方式，可根據(jù)工藝的需要進(jìn)行組合和拼裝，采用負(fù)壓密封使其簡(jiǎn)化和可靠，又大大節(jié)省空調(diào)機(jī)房面積，尤其適用于層高低、機(jī)房面積不足的改擴(kuò)建項(xiàng)目。而對(duì)工藝變更的適應(yīng)性，F(xiàn)FU優(yōu)勢(shì)更加明顯，當(dāng)工藝發(fā)展需要提高潔凈級(jí)別或改變潔凈區(qū)域時(shí)，只需采取增加FFU的數(shù)量或改變安裝位置就可達(dá)到保證潔凈度或更改潔凈區(qū)域的目的，不僅方便而且可以大大節(jié)省改造投資。
占用空間小。相比于集中式空調(diào)機(jī)組不僅省去機(jī)房，而且大大簡(jiǎn)化了風(fēng)管、水管的設(shè)置，極大地節(jié)省了使用空間。
經(jīng)濟(jì)性。從初投資和運(yùn)行費(fèi)用兩方面來看，目前FFU產(chǎn)品種類齊全，制造技術(shù)較為成熟，產(chǎn)品價(jià)格大大降低，在設(shè)計(jì)合理的情況下，其初投資往往可低于集中式空調(diào)機(jī)組。在運(yùn)行費(fèi)用方面，近年來在提高風(fēng)機(jī)和電機(jī)的效率方面取得了較大的進(jìn)展，F(xiàn)FU的能耗大大降低，進(jìn)一步降低了運(yùn)行費(fèi)用。一般認(rèn)為，F(xiàn)FU送風(fēng)方式潔凈室的運(yùn)行費(fèi)用大約是傳統(tǒng)集中送風(fēng)方式潔凈室的60%~80%。
出風(fēng)均勻穩(wěn)定。FFU自帶風(fēng)機(jī)和過濾單元，通過計(jì)算機(jī)群控方式很容易達(dá)到出風(fēng)均勻的目的，比集中式空調(diào)系統(tǒng)通過閥門控制的方式更加方便快捷有效。
負(fù)壓密封。FFU送風(fēng)方式的靜壓箱為負(fù)壓，風(fēng)口安裝的密封相對(duì)容易，而且即使出現(xiàn)泄漏，也是從潔凈室向FFU靜壓箱泄漏，不會(huì)形成對(duì)潔凈室的污染。
采用FFU送風(fēng)系統(tǒng)需要大量FFU單元和架空地板，造價(jià)相對(duì)較高，而集中式送風(fēng)方式不使用架空地板，甚至可采用上送上回方式，省去回風(fēng)夾道，大大減少造價(jià)。
FFU不適合對(duì)噪聲有嚴(yán)格要求的場(chǎng)所，因?yàn)镕FU一般數(shù)量較多，且風(fēng)機(jī)處在潔凈室內(nèi)或吊頂內(nèi)反射聲波，噪聲一般很大。FFU通常幾十臺(tái)甚至上百臺(tái)組合一起使用，在噪聲疊加后要保證潔凈室總體噪聲滿足規(guī)范要求比較困難。目前采用FFU方式的大面積潔凈室噪聲超標(biāo)比較普遍，有些甚至高達(dá)70 dB（A）。
五、使用與現(xiàn)場(chǎng)檢驗(yàn)
風(fēng)機(jī)過濾單元的安裝應(yīng)遠(yuǎn)離加熱器、火爐或其它熱源。設(shè)置風(fēng)機(jī)過濾單元場(chǎng)所不可放置易燃物，以免發(fā)生火災(zāi)。需要注意的是，不能在機(jī)體附近使用具有爆炸性或揮發(fā)性的化學(xué)物品，如果機(jī)體吸入這些化學(xué)物品將有可能會(huì)導(dǎo)致火災(zāi)或爆炸等。不能再機(jī)體附近使用含硫酸、鹽酸、漂白劑及其它具腐蝕性的化學(xué)藥品，其有可能會(huì)導(dǎo)致機(jī)體腐蝕及損壞。
風(fēng)機(jī)過濾單元安裝于潔凈室時(shí)，應(yīng)更換防塵衣以免攜帶灰塵進(jìn)入室內(nèi)，并以酒精清理工具以免攜帶灰塵進(jìn)入室內(nèi)，以酒精清理衣柜未保護(hù)處以免攜帶灰塵進(jìn)入室內(nèi)，點(diǎn)檢時(shí)請(qǐng)使用防塵紙及原子筆作記錄以免再產(chǎn)生灰塵。勿以沾濕的手操作機(jī)體，以免發(fā)生觸電危險(xiǎn)。勿遮蔽機(jī)體進(jìn)風(fēng)口及出風(fēng)口，這將導(dǎo)致機(jī)體性能無法正常發(fā)揮，造成機(jī)體功能異常或電氣部件損壞。
運(yùn)轉(zhuǎn)前，需檢查機(jī)體外部電源是否連接，電源供應(yīng)是否妥當(dāng)。機(jī)體上方空氣進(jìn)風(fēng)口及下方濾網(wǎng)的保護(hù)膜是否已取下。
運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)注意事項(xiàng)：
（1）開始運(yùn)轉(zhuǎn)
當(dāng)電源開啟后，機(jī)體即開始運(yùn)轉(zhuǎn)。有下列情形發(fā)生，機(jī)體無法正常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，請(qǐng)向?qū)I(yè)人員反映：
① 機(jī)體內(nèi)部有異物，離心風(fēng)扇無法正常旋轉(zhuǎn)。
② 機(jī)體內(nèi)部電線脫落，接頭松脫。
③ 機(jī)體內(nèi)部電氣部件損壞，如電源插頭、馬達(dá)。
（2）停止運(yùn)轉(zhuǎn)
運(yùn)轉(zhuǎn)后如發(fā)現(xiàn)異常現(xiàn)象，請(qǐng)立即切斷電源，停止機(jī)體運(yùn)轉(zhuǎn)?，F(xiàn)場(chǎng)檢驗(yàn)，包括風(fēng)機(jī)過濾單元與潔凈室圍護(hù)結(jié)構(gòu)相連的接縫必須密封，在清潔的現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行外觀檢查，目測(cè)不得有變形、銹蝕、漆膜脫落、拼接板破損等現(xiàn)象；在系統(tǒng)試運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，必須在進(jìn)風(fēng)口處加裝臨時(shí)中效過濾器作為保護(hù)。
高效過濾器應(yīng)在潔凈室及凈化空調(diào)系統(tǒng)進(jìn)行全面清掃和系統(tǒng)連續(xù)試運(yùn)行12h以上后，在現(xiàn)場(chǎng)拆開包裝并進(jìn)行安裝。安裝前需進(jìn)行外觀檢查和儀器檢漏。目測(cè)不得有變形、脫落、斷裂等破損現(xiàn)象；儀器抽檢檢漏應(yīng)符合產(chǎn)品質(zhì)量文件的規(guī)定。合格后立即安裝，其方向必須正確，安裝后的高效過濾器四周及接口應(yīng)嚴(yán)密不漏；在調(diào)試前應(yīng)進(jìn)行掃描檢漏。過濾器金屬外殼接地必須良好。
高效過濾器泄漏測(cè)試基本上是把微粒釋放在高效過濾器上游，然后在高效過濾器表面與邊框用微粒探測(cè)儀器搜尋有無泄漏。氣溶膠光度計(jì)是微粒計(jì)數(shù)器的一種，也是使用鐳射科技，但是它在掃描空氣樣本的微粒之后，所給的是微粒的總體強(qiáng)度，不是微粒數(shù)目。DOP是一種油性化學(xué)物質(zhì)，加壓或加熱霧化之后，可以產(chǎn)生次微米等級(jí)的微粒，可用來仿真無塵室的微粒，因此被當(dāng)成驗(yàn)證微粒。泄漏的定義是泄漏出上游濃度萬分之一，由于氣溶膠光度計(jì)可以直接顯示上下游微粒濃度的比值，因此掃描高效過濾器非常方便。也正因其準(zhǔn)確、可靠，美國(guó)食品與藥品管制局（FDA）規(guī)定，在其管轄范圍內(nèi)（食品加工場(chǎng)所與醫(yī)療制藥場(chǎng)所），所有的高效過濾器泄漏測(cè)試必須使用DOP與氣溶膠光度計(jì)。
六、維護(hù)
自購(gòu)買日起進(jìn)行定期檢查，請(qǐng)勿自行檢查，以免造成觸電或火災(zāi)等事故發(fā)生。除了維修人員外，請(qǐng)勿自行拆解、修理或變更規(guī)格，以免造成觸電或火災(zāi)的發(fā)生。當(dāng)更換濾網(wǎng)等部件時(shí)，請(qǐng)注意不要損壞濾紙。維修、點(diǎn)檢時(shí)，請(qǐng)務(wù)必先切斷電源，停止機(jī)器運(yùn)轉(zhuǎn)后再實(shí)施，以免發(fā)生觸電或傷害危險(xiǎn)。當(dāng)安裝、維修、點(diǎn)檢完成后，在機(jī)體起動(dòng)前，確定機(jī)體基礎(chǔ)穩(wěn)固。
每天工作開始之前依表點(diǎn)檢下列各項(xiàng)，當(dāng)發(fā)現(xiàn)有不正常的情形，立即切斷電源并采取改正措施。離心風(fēng)機(jī)及電機(jī)離心風(fēng)扇必須旋轉(zhuǎn)平順，沒有產(chǎn)生異常聲音，若聽到異常聲音，請(qǐng)確認(rèn)送風(fēng)機(jī)內(nèi)有無異物以及電機(jī)軸承的聲音是否異常，若電機(jī)有問題，請(qǐng)更換電機(jī)。過濾器過濾器表面有無損傷、污點(diǎn)等。風(fēng)機(jī)過濾器單元實(shí)施定期點(diǎn)檢，當(dāng)部件壽命已至?xí)r，請(qǐng)立即進(jìn)行部件更換。（部件壽命指一般使用狀況下之壽命，會(huì)因使用環(huán)境及使用狀況而有所差異）。當(dāng)由于不可抗力（如地震、電擊等）或化學(xué)藥品的泄漏（腐蝕氣體等）意外發(fā)生，停機(jī)再啟動(dòng)后，請(qǐng)務(wù)必實(shí)施相同的檢查。