潔凈室四大技術(shù)要素：
從潔凈室的建造、使用和維護而言，潔凈室有四大技術(shù)要素：
A、潔凈室的凈化空調(diào)系統(tǒng)至少應(yīng)有粗效、中效和過濾器三級過濾措施。尤其是在終端應(yīng)有過濾器（HEPA）或超過濾器（ULPA）。
B、潔凈室送風應(yīng)有足夠的空調(diào)（消除室內(nèi)余熱、余濕）和凈化（保持潔凈度）送風量。其送風量不僅能消除室內(nèi)的余熱和余濕，保證室內(nèi)的溫度和相對濕度，同時還能消除或稀釋室內(nèi)的粒子污染，保證室內(nèi)的潔凈度要求。
C、潔凈室必須建立和維持必要的相對壓差（正壓或負壓）。
D、潔凈室應(yīng)有合理的氣流流型，以保證其室內(nèi)的潔凈度和溫、濕度等參數(shù)。
潔凈室的分類：
潔凈室的分類一般按氣流流型來分，還可按使用用途和主要控制對象來分。
A、潔凈室按氣流流型分類
潔凈室按氣流流型來分類可分為單向流潔凈室、非單向流潔凈室、混合流潔凈室和矢流潔凈室。
a、單向流潔凈室
單向流潔凈室的凈化原理是活塞擠壓原理，是潔凈氣流將室內(nèi)產(chǎn)生的粒子由一端向另一端以活塞型式擠壓出去，用潔凈氣流充滿潔凈室。單向流潔凈室又可分為垂直單向流潔凈室和水平單向流潔凈室。
①垂直單向流潔凈室是在其吊頂上滿布（≥80%）空氣過濾器（或FFU），經(jīng)其過濾的潔凈氣流從吊頂用活塞型式以一定的速度，把室內(nèi)的污染粒子向地面擠壓，被擠壓的污染空氣通過地板格柵排出潔凈室，這樣不斷地進行循環(huán)運行來實現(xiàn)潔凈室的高潔凈度。垂直單向流潔凈室可創(chuàng)造高的潔凈度（1級~5級）但是，它的初投資高、運行費高。
②水平單向流潔凈室是在其一面墻上滿布（≥80%）空氣過濾器，被其過濾的潔凈空氣以一定的速度用活塞型式將污染粒子擠壓到對面的回風墻，由回風墻排出潔凈室，這樣不斷循環(huán)來實現(xiàn)高的潔凈度等級。水平單向流可創(chuàng)造5級的潔凈度等級。其初投資與運行費用也低于垂直單向流潔凈室。水平單向流潔凈室與垂直單向流潔凈室比較，其大的區(qū)別是垂直單向流氣流是由吊頂天花流向地面，所有工作面全部被潔凈的氣流覆蓋。而水平單向流潔凈室的氣流是由送風墻流向回風墻，因此，氣流在工作面潔凈度高，后面的工作面的潔凈度會越來越差。
b、非單向流潔凈室
非單向流潔凈室的凈化原理是稀釋原理。是用一定量的潔凈空氣來充淡稀釋室內(nèi)產(chǎn)生的污染粒子。潔凈空氣量越多稀釋后的潔凈度就越高。因此潔凈的送風量（換氣次數(shù)）不同，室內(nèi)空氣的潔凈度等級也不相同。在“規(guī)范”中規(guī)定：6級潔凈室的換氣次數(shù)為50~60次/時；7級潔凈室的換氣次數(shù)為15~25次/時；8級和9級潔凈室的換氣次數(shù)為10~15次/時。潔凈度級別不同其初投資和運行費也不相同。常用的非單向流潔凈室的氣流流型主要有頂送下回、頂送下側(cè)回和頂送頂回。
c、混合流潔凈室
混合流潔凈室是將垂直單向流和非單向流兩種型式的氣流組合在一個潔凈室中?；旌狭鳚崈羰铱纱蟠髩嚎s垂直單向流的面積，只將其應(yīng)用在必要的關(guān)鍵工序和關(guān)鍵部位中，用大面積的非單向流來替代垂直單向流。這樣不僅大大地節(jié)省建造投資而且也大大地節(jié)省了運行費用。這種混合流潔凈室目前廣泛地應(yīng)用在微電子（超大規(guī)模集成電路）的光電子（液晶顯示器LCD、等離子PDP、發(fā)光二極管LED和薄膜晶體管有源矩陣液晶顯示器TFT-LCD）等大面積高潔凈度等級的電子工業(yè)潔凈廠房中。
d、矢流潔凈室
矢流潔凈室是用圓弧形空氣過濾器構(gòu)成的圓弧形送風裝置，經(jīng)圓弧形過濾器送出的氣流是放射形的潔凈氣流，流線不產(chǎn)生交叉，灰塵粒子也是被放射形氣流帶到回風口，回風口設(shè)在對面墻的下側(cè)。矢流潔凈室可用較少量的潔凈送風來實現(xiàn)較高潔凈度級別（5級）的潔凈室。這種氣流流型在美國和日本較多（在日本稱為對角流），而我國在工程中應(yīng)用較少。
B、潔凈室按用途和主要控制對象分類
按使用用途和主要控制對象潔凈室又可分為工業(yè)潔凈室、生物潔凈室和生物安全實驗室。
a、工業(yè)潔凈室
工業(yè)潔凈室的主要控制對象是灰塵粒子。它廣泛應(yīng)用于電子工業(yè)、光電子工業(yè)、機械化工工業(yè)、光學工業(yè)、航天事業(yè)等。在電子工業(yè)中微電子（集成電路）工業(yè)對潔凈室的潔凈度級別要求高。而且，隨著微電子技術(shù)的不斷發(fā)展，集成度的不斷提高，光刻線寬的不斷變小對潔凈室潔凈度等級的要求也越來越高。根據(jù)半導體工業(yè)協(xié)會（SIA）對未來集成電路發(fā)展趨勢，以及對潔凈生產(chǎn)環(huán)境中塵粒控制的趨勢預測可以看到微電子工業(yè)對潔凈室潔凈度的要求。
b、生物潔凈室
生物潔凈室主要的控制對象是微生物、病菌等活的有生命的粒子，是不斷地生長、繁殖的粒子。它所產(chǎn)生的污染不僅僅是微生物本身，而且，還有新陳代謝產(chǎn)生的二次污染。生物潔凈室主要應(yīng)用在醫(yī)療、制藥、食品、生物工程、實驗動物飼養(yǎng)以及生物安全等行業(yè)之中。
c、生物安全實驗室
生物安全實驗室是研究對人、動物、環(huán)境等有害感染性的微生物、病菌、病毒等的特殊環(huán)境條件。因此，生物安全實驗室，必須作到安全，不僅要保護實驗研究對象，使實驗得到真實可靠的實驗數(shù)據(jù)和結(jié)果，而更重要的是保護實驗操作人員和周圍的環(huán)境，使實驗人員和周圍環(huán)境都能得到可靠的安全保障。根據(jù)世界衛(wèi)生組織（WHO）的標準，可將感染微生物的危險度等級依它們的危險程度不同劃分為4個不同的級別。而且不同危險度等級的生物安全實驗室也要有相對應(yīng)的生物安全水平。