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無(wú)塵潔凈室氣流速度與換氣次數(shù)的探討

更新時(shí)間:2016-10-28  |  點(diǎn)擊率:1733

潔凈室內(nèi)一定潔凈度下氣流速度的確定,隨潔凈室用途等具體情況而異,它不僅受室內(nèi)發(fā)塵量及過(guò)濾器效率的影響,還受其他因素的影響,就工業(yè)潔凈室而言,影響潔凈度及選擇氣流速度的因素主要是:
室內(nèi)污染源:建筑物構(gòu)件、人員數(shù)量及操作活動(dòng)、工藝設(shè)備、工藝材料及工藝加工本身都是塵粒釋放源,根據(jù)具體情況而異,變化很大。
室內(nèi)氣流流型及分布:?jiǎn)蜗蛄饕缶鶆?、平行的流線,但會(huì)受到工藝設(shè)備布置和位置變動(dòng)、人員活動(dòng)情況及局部熱氣流等的干擾形成局部渦流;而非單向流要求充分混合,避免死角及溫度分層。
自凈時(shí)間(恢復(fù)時(shí)間)的控制要求:潔凈室中事故釋放或帶入的污染物、或空氣氣流的中斷、或正常操作時(shí)的間歇對(duì)流氣流、或人及設(shè)備的移動(dòng)等都會(huì)造成潔凈度的惡化,恢復(fù)到原來(lái)潔凈度的自凈時(shí)間決定于氣流速度;對(duì)自凈時(shí)間控制要求取決于此時(shí)間框架內(nèi)(惡化的潔凈度下),對(duì)產(chǎn)品生產(chǎn)的質(zhì)量及成品率影響的承受能力。
末級(jí)過(guò)濾器的效率:在一定的室內(nèi)發(fā)塵量下,可采用較率的過(guò)濾器以降低氣流為節(jié)省應(yīng)考慮采用較率的過(guò)濾器,并降低氣流速度,或采用較低效率的過(guò)濾器并采用較高的氣流速度,以求流量與阻力的乘積zui小。
經(jīng)濟(jì)性考慮:過(guò)大的氣流速度造成投資及運(yùn)行費(fèi)用的增加,合適的氣流速度為以上諸因素合理的綜合,過(guò)大往往不必要,亦不一定有效果。
對(duì)潔凈度要求低的潔凈室,有時(shí)換氣次數(shù)決定于室內(nèi)排熱的要求。由于不確定的因素較多,要通過(guò)計(jì)算來(lái)確定合理的氣流速度/換氣次數(shù),是很難解決的。因此在工程應(yīng)用中,對(duì)潔凈室的氣流速度往往參照有關(guān)規(guī)范、導(dǎo)則等的推薦或參考值,再按具體情況估計(jì)以上各影響因素進(jìn)行綜合考慮后確定。
氣流速度用于單向流潔凈室;非單向流潔凈室宜換氣次數(shù),因?yàn)槠錃饬魉俣入y于測(cè)準(zhǔn),亦有用末級(jí)過(guò)濾器滿布率來(lái)反映的,可用于各種氣流流型的潔凈室,過(guò)去,一般滿布率100%相對(duì)于潔凈室內(nèi)平均氣流速0.5m/s(fpm),25%相對(duì)于0.125m/s(25fpm),而目前已并不如此來(lái)對(duì)應(yīng)。
近年來(lái)不少人通過(guò)實(shí)驗(yàn)認(rèn)為這些推薦或參考值過(guò)于保守,其論點(diǎn)可歸納為:
(1)潔凈室內(nèi)氣流的橫向擴(kuò)散只在甚低的流速下才有可能,單向流在合理的氣流組織下,流速0.05~0.1m/s就足夠帶走污染物,在此流速下亞微米粒子的擴(kuò)散性能遠(yuǎn)低于對(duì)流性能;而大于0.36m/s的氣流速度反而易千百萬(wàn)渦流,引起污染物的再卷入。因此,潔凈室的理想自凈時(shí)間Tr=體積/流率,到一定值后由于污染物的再卷入,再增大氣流速度,實(shí)際的Tr并不再有明顯的減少。
(2)末級(jí)過(guò)濾器的效率對(duì)潔凈度的影響是值得起注意的。有的氣流速度/換氣次數(shù)推薦或參考值對(duì)末級(jí)過(guò)濾器效率提高的因素往往沒(méi)作考慮。當(dāng)前HEPA/ULPA的效率從99.97%、99.99%、99.999%、99.9995%直至8個(gè)9以上都可選擇。
(3)過(guò)濾器效率由99.97%提高到99.99%,意味著經(jīng)過(guò)濾器后的空氣含塵濃度由0.03%降至0.01%,減少3倍。

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