1、機械振動的檢測
（1）機械振動的來源。機械振動的來源主要有以下幾個方面：大地固有的振動；潔凈室運行用設(shè)備的振動；生產(chǎn)用設(shè)備的振動；交通工具的振動；建筑設(shè)備的振動；水流引起的振動；氣流引起的振動等。
（2）振動的危害。其影響精密儀器的準確度和精密加工的精確度。
（3）振動的測量。振動主要有兩個技術(shù)參數(shù)：振動頻率和振幅。采用減振措施以后，振動量可以減小。用振動儀可以直接測量振動的強度。
2、靜電的檢測
（1）靜電檢測的需求。靜電有可能損壞電子設(shè)備、儀器儀表、甚至傷害人體，引發(fā)爆炸或燃燒。靜電對于集成電路的影響較大，所以電子行業(yè)對于靜電檢測的要求較高?！稘崈魪S房設(shè)計規(guī)范》和《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》兩個強制性的國家標準都是中國電子工程設(shè)計院負責起草的，基本上代表了電子行業(yè)的觀點。標準中對于靜電有比較具體的要求。GB 50472-2008將靜電分為三個等級，相應(yīng)的靜電點位值為：一級≤100V；二級≤200V；三級≤1000V。
（2）靜電的主要檢測參數(shù)：包括電壓、電阻、電場、離子等。
（3）檢測方法。靜電檢測可參照GB 50591-2010和電子行業(yè)標準《電子產(chǎn)品和制造防靜電系統(tǒng)測試方法》（SJ/T10694）進行。
3、電磁場的檢測
（1）電磁場的來源。有交變電流就會有電磁場。高頻電流會產(chǎn)生電磁波。
（2）電磁場的危害。一般的電磁場會影響儀器儀表和自動控制系統(tǒng)。強電磁場對人體有害。
（3）電磁場的測量。電磁場主要有兩個技術(shù)指標，即頻率和強度，可以用場強儀進行檢測。
4、射線的檢測
（1）常見的射線。常見的射線有電磁波、紫外線、X射線、γ射線、α射線、β射線等。
（2）射線的來源。交換變化的電磁場會產(chǎn)生電磁波，高頻的電磁波呈現(xiàn)射線特性，可以稱為電磁射線。紫外線多來源于紫外光源和太陽光。X射線多來源于被高能電子激發(fā)的物質(zhì)。α射線、β射線多來源于具有放射性的重元素。
（3）檢測方法。射線一般可以用相應(yīng)的射線計數(shù)器檢測，射線計數(shù)器一般都是直讀儀器，使用比較方便。需要注意射線對人體危害較大，檢測人員需要注意自我保護。
5、有害氣體的檢測
（1）有害氣體的來源。潔凈室有害氣體的來源主要有：通風帶進的有害氣體；室內(nèi)裝飾材料散發(fā)的有害氣體；室內(nèi)設(shè)備散發(fā)的有害氣體；工作過程產(chǎn)生的有害氣體；人員散發(fā)的有害氣體。
（2）有害氣體的種類。不同的來源有不同的有害氣體，不同的對象有不同的有害氣體。有的氣體對人體有害，有的氣體對儀器設(shè)備有害，有的氣體對產(chǎn)品有害。
（3）有害氣體的檢測方法。
1）用直讀儀器直接讀出有害氣體的濃度。直讀儀器主要由兩部分組成：化學傳感器和電子放大顯示系統(tǒng)。此方法的特點是快遞、方便，缺點是往往精確度較低、儀器的使用壽命較短。
2）采樣后帶回實驗室，使用光譜儀、色譜儀等分析確定有害氣體的濃度。此方法的特點是精確度較高、可靠性較強，缺點是測定程序較復雜、需要的時間較長。